CIF扫描电镜等离子清洗机

    CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程等离子清洗源 设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于 SEM 或 FIB 等腔 体内碳氢化合物的清洗。

    更新时间:2024-03-19 09:53:02
  1. 详细信息

九游会·产品特点

◆  远程离子清洗源

  清洗快速、高效

◆  低轰击损伤

技术参数

 

九游会·产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40(CF40)

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz 射频电源,射频功率 5-150W 可调

远程等离子源,自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7 寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源 / 功率

AC220V,50/60Hz300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器,   氢气纯度﹥ 99.999%,输出流量 0-500SCCM

质量保证

二年质保,终身维护

九游会·产品尺寸

L320xW385xH465mm

包装尺寸

L440xW535xH725mm

整机重量

25