CIF实验室型等离子清洗机CPC-F系列

    CIF 推出的新一代科研型等离子清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广。 九游会·产品性能稳定,操作简单方便,易维护。

    更新时间:2024-04-09 09:11:47
  1. 详细信息
应用领域:
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。1710742555393.jpg

 九游会·产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

◆  用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计  (CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制准确。

◆  气体返填吹扫,HEPA 高效过滤,防止二次污染。

◆  316 不锈钢、石英真空舱可选择,全真空管路系统采用316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

◆  采用 60 度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方 便,界面友好。

◆  上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。

◆  内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。

◆  处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。

技术参数

型号

CPC-F

CPC-Fplus

CPC-FM

CPC-FMplus

射频电源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射频功率

0-600W

0-150W

0-600W

0-150W

匹配器

自动匹配器

自动匹配器

激发方式

电容式或电感耦合(ICP)

电容式或电感耦合(ICP)

气体控制

双浮子流量计

单路 MFC(可选两路)

舱体尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

舱体材质

不锈钢或石英玻璃

不锈钢或石英玻璃

舱体容积

3.8L-5L

3.8L-5L

有效处理尺寸

L200xW155mm

L200xW155mm

时间设定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 4m³/h

抽速 4m³/h

气体稳定时间

1 分钟

1 分钟

真空度

100pa 以内

100pa 以内

  

AC220V 50/60Hz 766/316W

AC220V 50/60Hz  752/302W

九游会·产品尺寸

L440xW410xH455mm

L440xW410xH455mm

包装尺寸

L560xW560xH685mm

L560xW560xH685mm

整机重量

32kg

32kg