标准湿法处理系统

    CHEMIXX 30pm湿法台是一款半自动单面湿法系统,主要用于晶圆或者方片的清洗,刻蚀,显影等应用,其中清洗部分具有化学清洗,兆声清洗,PVA刷洗,高压DI水冲洗,背部清洗等多种功能。

    更新时间:2022-11-25 17:23:57
  1. 详细信息

九游会·产品简介

 

CHEMIXX 30pm湿法台是一款半自动单面湿法系统,主要用于晶圆或者方片的清洗,刻蚀,显影等应用,其中清洗部分具有化学清洗,兆声清洗,PVA刷洗,高压DI水冲洗,背部清洗等多种功能。

 

n九游会·产品特色

 

÷ 圆形晶圆最大可达 Ø 300mm

÷ 方形衬底最大可达 9 x 9 inch

÷ 最多两个电动输送臂,每个最多 6 个管路

÷ 液体加热模块高达 60°C

÷ 用于去离子水的背面冲洗

÷ 集成三种不同化学品液供应系统

÷ 工艺室外的手动去离子水枪

÷  工艺室自动去离子水冲洗可选

÷ 带有流孔的工艺室档板

 

n技术数据

 

÷ 衬底尺寸最大可达 Ø 300mm (Ø12 inch)  230 x 230 mm (9 x 9 inch)

÷ 电机转速最大 3.000 rpm步进rpm

÷ 步进时间: 1  999.9 秒,步长 0.1 s

÷ 系统架构由粉末涂层不锈钢制成

÷ 处理室材料 PP (可选 PVDF)

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